...械式帮浦当作接触大气的前级帮浦),如:扩散式帮浦 (diffusion pump)、涡轮式帮浦 (turbo pump)、或致冷式帮浦 (cryogenic pump),才能达到10-6 ~10-7Torr的真空程度。当然,不同的真空帮浦规范牵涉到不同原理之压力计、管路设计、与价格。
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或致冷式帮浦
Or refrigerated pump
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