研究了影响单晶硅衬底的多晶硅薄膜太阳电池转换效率的因素,得到该种电池的快速热化学汽相沉积(RTCVD)的最佳条件.同时改进了制备薄膜太阳电池的若干工艺问题,得到了转换效率为14.08%的太阳电池,其填充因子为0.808.
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快速热化学汽相沉积
Rapid thermochemical vapor deposition
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