微细加工（Micro Machining） 微细加工或微小件加工是指对小型工件进行的加工。微细加工通常用在医疗器械领域和电子领域。由微细加工工艺生产的零件通常需要用显微镜来观察。微细加工一般在专门进行微小件或精密加工的车间进行。
...、化学和生物传感器，安拆物理学及其特性化，设施建模取仿实，纳制备（Nanofabrication）取新安拆，微细加工（Microfabrication），超导电女学。
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...) 化学加工( Chemical Machining，简称 CHM) 电化学加工(Electro chemical Machining，简称ECM) (三) 微细加工(Macro machining) 如 微影铸模成型(Lithography Electro forming Micro Molding，简称LIGA) 化学蒸镀(Chemical Vapor Deposition，简称CVD) 物理蒸...
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超精微细加工 Super-Precision & Minuteness Processing ; Super-Precision &
超精密加工和微细加工 Super-Precision & Minuteness Processing ; Minuteness Processing ; Super-Precision &
微细加工技术 Microfabrication Technology
微细加工物理 The Physics of Microfabrication
三维微细加工 Three-Dimensional Microfabrication
电子束微细加工 electron beam microfabrication
准分子雷射微细加工机 Excimer Laser Micromachining
激光微细加工 laser minuteness process
Therefore, micro-EDM has become one of the most important branches in the field of micro machining and receives worldwide attention.
微细电火花加工技术目前已经成为微细加工领域一个非常重要的研究方向,受到国内外学者的广泛重视。
参考来源 - 基于直线电机的微细电火花加工系统及其关键技术研究The simultaneous methods of electrochemical machining and ultrasonic vibration were analyzed. The micro-machining system that ECM combined piezoelectric ultrasonical vibration was designed and built.
分析了电解加工方式与超声频振动协调同步方法,设计和构造了微细电解复合压电式超声频振动微细加工系统。
参考来源 - 电解复合超声频振动微细加工机理与试验研究Finally, the research contents of this dissertation have been summarized and the prospect of laser micromachining has been opened up.
第六章对本学位论文进行了总结，并对今后激光微细加工技术的发展做了展望。
参考来源 - 聚合物微流控芯片的激光加工技术研究The work shows there is bright prospect in the field of femtosecond laser micromachining of metallic materials.
展示了飞秒激光在金属材料微细加工中的巨大应用前景。
参考来源 - 飞秒激光微细加工金属材料的理论与实验研究At present, the biochip based on micro-fabrication technology grows,. and "lab-on-chip" will make micro total analysis feasible.
目前，以微细加工工艺为基础的生物芯片技术蓬勃发展，由此而产生的芯片实验室将使微全分析成为可能。
参考来源 - 硅基单反应腔PCR生物芯片的设计与制作Some new technologies of micro-mechanism manufacture are discussed, such as microfabrication technology for surface/bulk, LIGA and silicon direct bonding technologies and so on. Besides, the application foreground in MEMS products using these new technologies is also expounded.
论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景。
参考来源 - 微/纳米级微电子机械系统制造新技术The BST thin films varactor used in voltage-controlled oscillator were fabricated using micro-fabricated techniques in this paper.
4、采用微细加工技术研制压控振荡器用BST薄膜变容管。
参考来源 - 压控振荡器用BST薄膜及其变容管微细加工研究The dissertation includes:1. Further research on microminiature machining technology & theory.
本论文研究的主要内容有： 1．深入研究了微细加工技术及理论。
参考来源 - 复杂型面微小零件加工及机床精度分析·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
简要介绍了等离子体技术和微细加工技术。
Plasma technology and micro process technology are presented simply.
此外，为机床模具加工和微细加工精度有所改善。
Also, the precision of machine tools for die machining and microfabrication has improved.
微电铸，又称精密电铸，是一种全新的微细加工技术。
As a new micro fabrication technology, micro electroforming I.
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