随着 20世纪90年代基于微米/纳米集成电路制作技术 的微电子机械加工技术(MEMT)及微电子机械系 统(MEMs)的出现，使具有体积小、重量轻、价格便 宜、可靠性高、能大量生产等优
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采用微电子机械加工技术作为关键制作技术。
The micro-electron mechanical processing technology is adopted as the key production technology.
器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。
The two parts are fabricated by MEMS technology and combined as aw.
微电子机械系统(MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。
Micro electro mechanical systems (MEMS) are the micro mechatronics fabricated by microelectronic technology and micromachining.
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