微波等离子体 CVD （Microwave PCVD, MPCVD）将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器，并通入 CH4与 H2的混合气体，在微波的激励下，在反应室内产生辉光放电，使反应气体的分子离化，产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石膜。
以镍为催化剂，利用微波等离子体化学气相沉积法制备了弹簧状碳纤维。
Under the catalytic effect of nickel particles, spring-like carbon filaments were synthesized through microwave plasma chemical vapor deposition.
以镍为催化剂，利用微波等离子体化学气相沉积法制备了弹簧状碳纤维。
The globe-like diamond microcrystalline aggregates were fabricated by microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) method.
以镍片为基板材料，利用微波等离子体化学气相沉积法在低温条件下合成了纳米碳管膜。
Carbon nanotube films were synthesized on Ni substrate by microwave plasma chemical vapor deposition at low temperature.
微波等离子体 CVD （Microwave PCVD, MPCVD）将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器，并通入 CH4与 H2的混合气体，在微波的激励下，在反应室内产生辉光放电，使反应气体的分子离化，产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石膜。
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