...亮度高、光斑小、准直性优异，通过光学系统的光束偏振性小、聚焦深度大、穿透本事强；同时可有效消除半暗影效应(Penumbra Effect)等优越性。X射线光刻技术发达的主要难题是系统体积强大，系统价格高贵和运转成本居高不劣等等。
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短语
阴影效应
[电子]
shadow effect
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Shadowing
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shadowing effect
迭影效应
ghost effect
投影效应
projection effect
幻影效应
ghost effect
头影效应
head shadow effect
塔影效应
Tower Shadow
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tower shadow effect
险影效应
shadow effect
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