bending beam apparatus
...扩散阻碍层时铜膜的应力行为，其中扩散阻碍层以溅镀法制备，实验中所使用的应力量测仪器为真空 弯柄仪 ( Bending Beam Apparatus )系统。为了避免铜膜氧化问题的发生，选用真空下的量测。
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