国家奈米元件实验室奈米元件台南厂 射频溅镀机( RF Sputter ) 一、系统简介: RF Sputter 1. 设备名称：射频溅镀机 2.
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射频磁控溅镀机 RF magnetron Sputter
反应性射频磁控溅镀机 Magnetic Enhanced Sputter
射频溅镀机
Radio frequency sputtering machine
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