至于第四种下一代微影候选技术──定向自组装(directed self-assembly),虽然是一种十分具有远景的研究课题,但却迟迟未能开始进行研发。
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日前公布了定向自组装 directed self-assembly
定向自组装技术 Directed self-assembly
定向自组装
Directional self-assembly
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