如果超高浓度的掺杂是使用离子植入法(ion implementation),则其对材料的能带引进就具更多的可能性.因为离子植入法和扩散法不一样,是可以借由控制离子轰击的能量,在不同的位置各别形成不同...
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离子植入法 Ion implantation
子植入法
Daughter implantation
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