结拖帮浦作用原理 又称为蒸发離子帮浦(evaporateion pump)，实为结 ..
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...p): 大气压到10 -5 托 涡輪帮浦(Turbo pump): 10 -2 到10 -7 托 冷凝帮浦(Cryo pump): 到10 -10 托 離子帮浦(Ion pump): 到10 -11 托 准直式(collimating)溅射系统 使用在Ti 和TiN 沉积 准直式系统允许金属原子或分子主要以垂直方 向移动 可...
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短语
离子帮浦
Ion pump
;
Sputtering ion pump
氢离子帮浦抑制剂
Protonpumpinhibitors-PPI
分子帮浦
Turbo Pump
;
Turbo-Molecular Pump
;
TMP
结拖離子帮浦
Gettering ion pump
结拖离子帮浦
Gettering ion pump