刘仲明表示，奈米机电系统（NEMS），是采用奈米技术制作超小型机电原件，其应用范围广泛，利用电子、光学及生物科学等，例如，可以探测单分子的感应器，奈米及超高...
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奈米机电系统
Nanoelectromechanical systems
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微奈米机电制程之平台建构与系统整合。
The Setup and Integration of Micro-nano-electro-mechnical System Technology …
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