图形特征分段法 graphic feature division algorithm
矢量图形特征 extracting shape
图像形貌特征提取 feature extraction of image micromorphology
特征图形元素头指针 ElementNode featElemP
次分辨率辅助特征图形 subresolution assist features ; SRAFS
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采用几何图形特征，符号，标记的设计标准。
Design Standards for Geometric Features, Signals, Signing, Markings.
采用几何图形特征，符号，标记的设计标准。
分析了光刻图形侧墙斜坡对离子注入后图形特征尺寸的影响。
Influences of side-wall slope of photolithography pattern on characteristic dimensions after ion implantation are analyzed.
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