反射式高能电子衍射是指采用30～50kV的电子枪加速电压，电子波长范围在0.00698～0.00536nm之间，用这样能量的平行电子束以小于1°的掠射角入射样品的表面。
为了实时监测薄膜生长的动态过程变化,反射式高能电子衍射(RHEED)是迄今最有效的原位分析方法[3,4]。RHEED是通过高能电子束入射到材料表面,由表面反射产生衍射,它
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文章详细信息 关键词： 反射式高能电子衍射;;氧化物薄膜;;脉冲激光沉积 [gap=336]Keywords: reflection high energy electron diffraction;oxide thin films;pulsed laser deposition
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反射式高能电子衍射仪 Reflection High-Energy Electron Diffraction
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