ALE(atomic layer epitaxy)它是以单原子层为单位进行的外延生长。
第一章绪论1.2.2.8原子层外延(ALE) 原子层外延(Atomic Layer Epitaxy)是一种基于MOCVD的超薄薄膜低温生长技术,反应气体可调节,交替供给原材料,并在两气体束流之间清洗反应室。
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... Atom Layer Extension 原子层外延 extension 引伸;外延;延伸;延续 extension 拉伸,伸长,扩展 ...
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