也称过氧硫酸，过一硫酸 化学式：H2SO5（也可写成SO3·H2O2） 过氧一硫酸，也称为过氧硫酸、过硫酸，化学式H2SO5，无色固体，熔点45°C。这种酸中硫的氧化态为VI，可以表示为HO-O-S(O)2-OH。虽然已经制得了过一硫酸的苯甲酰衍生物，但过一硫酸却是一个一元酸。过一硫酸有强烈的氧化性： 过一硫酸的盐类都是不稳定的，迄今为止只得到了过一硫酸钾（常称为过一硫酸氢钾复合盐，KHSO5，用作氧化剂），其中主要的杂质为硫酸钾和硫酸氢钾。 当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸（H2SO5）。H2SO5通常被称为卡罗酸,可以同H2O2反应得到OH●和HSO4●反应基。这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH●和HSO4●反应基之间的反应很弱。