...用于加速度计(accelerometer)、压力传感 器(pressure sensor)及阵列、微镜(micromirror)、化学流体传感器(chemical flow sensor)、陀螺仪 (gyroscope)、微泵(fluid pump)、喷墨打印头（inkjet print head）、光开关(optical switch)、射频器 件(RF MEMS)及生化...
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化学流体传感器
Chemical fluid sensor
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