...ium Arsenide, GaAs)等半导体(Semiconductor)所组成,目前积体电路产业以矽晶圆为主。 矽晶圆是利用特殊的拉晶(Crystal Pulling)装置将熔化的纯矽,缓慢旋转逐渐拉升冷却以获得单晶(Crystal)结构的晶棒(Ingot),如图1所示。
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利用特殊的拉晶
Using special crystal pulling
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