常用的分辨率增强技术包括离轴照明和使用相移掩膜版，以及在掩膜上增加亚分辨率辅助图形（sub-resolution assist feature，SRAF）。 存储器芯片的核心区域是具有高度周期性的相同图形阵列，以固定的间距重复排列。
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次分辨率辅助图形 Sub-resolution Assistance Feature
亚分辨率辅助图形 sub-resolution assist features
次分辨率辅助特征图形 subresolution assist features ; SRAFS
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