静态溅射系统 （ Static Sputtering System ） 磁控共溅镀系统（Co-Sputtering System） 反应射频磁控溅射系统（Reactive Sputtering System） ..
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多靶薄膜共溅镀系统 Multi-gun Sputtering system
共同溅镀系统 co-sputtering system
共溅镀系统
Common sputtering system
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