该系统的无线3D位移监视传感器具有一电子水平传感器(Electric Leveling Sensor)、一Z轴光学尺(Optical Scale)以及一X-Y轴电子电荷耦合组件监视传感器(XY-axes CCD Monitor Sensor)，以分别监控与校正机械手臂的水平状态、偏移量与间隙大小。
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...引 大部分三次元测定机采用此方式 滚珠或滚动导引 21 滚动轴承导引 22 空压轴承导引 23 滚珠或滚动导引 24 光学尺(Linear Scales) 线性编码器(linear-encorder) 有穿透式及反射式两种 波纹式编码器 感应式编码器 25 线性编码器(linear-encorder) 26 马达驱动方...
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... 4、 排屑装置 Chip Conveyor 5、 出口装箱 Export Packing 6、 光学尺 Digitial Readout System ...
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三轴搭配光学尺做回馈补偿， 提高机台精度。
Three axes with linear scale for closed-loop high accuracy positioning.
以及在该运动台面的相对侧设有单支的绝对式光学尺及两组读头。
The opposite side of the moving surface is provided with a single absolute type optical rule and two groups of read heads.
用来产生光学频率梳的激光的类型对于此频率尺的精度至关重要。
The type of laser used to make the comb is critical to the precision of the ruler.
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