...展出来，用以制造微结 构的技术，结合了深光刻、微电铸和模造技术， LIGA 技术又可分为：X-ray 光刻术、紫外线光刻术 （UV-LIGA ）、雷射光刻术、电子束光刻术 （E-beam）、离子束光刻术，本研究采用 UV-LIGA 加工技术，制作微米结构，配合微电铸制程，可以用...
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显微光刻术 microphotolithography
出热化学纳米光刻术 TCNL
蘸笔纳米光刻术 Dip-pen Nanolithography ; DPN
笔纳米光刻术 Dip-pen nanolithography ; DPN
蘸水笔纳米光刻术 dip-pen nanolithography
用蘸水笔纳米光刻术 dip-pennanolithography ; DPN
光刻技术 Photolithography ; EUVL ; [电子] photoetching technique ; XRL
激光蚀刻技术 Laser
按比例缩小光刻技术 scaled down lithography
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