俄歇电子能谱仪（Auger Electron Spectroscopy，AES），作为一种最广泛使用的分析方法而显露头角。这种方法的优点是：在靠近表面5-20埃范围内化学分析的灵敏度高；数据分析速度快；能探测周期表上He以后的所有元素。虽然最初俄歇电子能谱单纯作为一种研究手段，但现在它已成为常规分析手段了。它可以用于许多领域，如半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等方面。俄歇效应虽然是在1925年时发现的，但真正使俄歇能谱仪获得应用却是在1968年以后。
再用PHI 550型俄歇电子能谱仪测出上述样品金膜中银的浓度剖面分布。
After that the above samples have been analysed by AES (type PHI 550) and silver concentration profiles in the gold films have been obtained.
本文对数控车削纯镍时刀具的沟槽磨损问题，应用扫描电镜、电子探针、俄歇能谱仪等进行了探讨。
Using electronic sweep mirror, electronic prober and energy spectrum meter to investigate the groove shape wear of a cutting tool, while numerical controlled turning the pure nickle.
实际建立的系统包括激光器、外光路系统、真空制样室、俄歇能谱仪、电子发射测量仪。
The total system comprise laser, external ray system, vacuum chamber, AES and emission electron surveyor.
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