工艺中,体区浓度与抑制寄生场效应管区域(JFET)、体区(P-Body)和源区(N-Plus)三步注入的剂量相关。对这三步注入进行实验设计,找出合适的工艺窗口。
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在拉应力作用下，塑性变形集中在铁素体区。
Plastic deformation concentrates at the ferrite area under the tensile stress es.
在拉应力作用下，塑性变形集中在铁素体区。
Plastic deformation concentrates at the ferrite area under the tensile stresses.
在反应器的设计中，确保了反应在等离子体区进行。
The design of reactor assures that the reaction is in plasma zone.
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