扩充低介电薄膜（low-k dielectrics）材料以及增加门极氧化物的厚度以有效地减少了泄漏电流。在采用65nm工艺后，晶体管性能提升了20%、交换功率降低了30%。
基于20个网页-相关网页
低介电常数薄膜 low dielectric constant films
低介电薄膜
Low dielectric film
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
对于在用作集成电路的层间介电体时的改善性能，确定了低介材 料和包含该材料的薄膜及其制备方法。
Low dielectric materials and films comprising same have been identified for improved performance when used as interlevel dielectrics in integrated circuits as well as methods for making same.
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动