...（后焦距） Weight of optics(光学载重) Object to image（物像间距离） Other(其它) 具体要求 Central obscuration（中心遮拦） Environment（ 环境） Off axis rejection（离轴抑制） Temperature（温度） Number of elements（元件数量） Soak range Mater...
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5 徐彧;李艳秋;; 中心遮拦(Obscuration)对157nm光刻性能的影响[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
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