三乙胺硼烷（TEAB）和He，N2或NH3作为另外的反应气体施加在通过低压化学汽相淀积（LPCVD）生产的BCxNy层。
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三乙胺-硼烷 Borane-triethylamine complex ; triethylamine--borane
三乙胺硼烷
Triethylamine borane
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