本文利用ECR-PEMOCVD(电子回旋共振-等离子体增强金属有机化学气相沉积)方法,采用二茂锰作为锰源,氮气作为氮源,三乙基镓(TEGa)作为镓源,在蓝宝石衬底上外延生长出具有一定Mn含量且晶质较好的GaMnN稀磁半导体薄膜.
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CD 中文名称： 三乙基镓 英文名称： Triethylgallium 别名名称： 三乙基化镓 三乙基镓 更多别名： Triethyl-Galliu GALLIUM TRIETHYL TRIETHYLGALLIUM Trieth
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