对于这种薄膜太阳电池,衬底材料以及硅膜和衬底的匹配、区熔再结晶(ZMR)是有待解决的关键问题。制备陶瓷衬底上
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区域熔化再结晶(Zone Melting Recrystallization)
2.2区域熔化再结晶(ZMR)区域熔化再结晶法是指将一束很窄的源能量在硅薄膜的表面移动以使硅薄膜材料的不同区域依次熔化而结晶。
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区熔再结晶技术(ZMR)是一种非常有 效的晶粒增大技术,其工艺较为成熟并被广 泛采用。ZMR后的晶粒尺寸往往可以达到几 个厘米。
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