浅析浅析可知:微晶玻璃(Zerodur)是微动台基板的最佳,石英陶瓷和ULE效果也不错。光刻机微动台基板,了基于正交试验和ANSYS拓扑浅析浅析的结构优化设计。
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玻璃陶瓷 ( Zerodur )作为一种新型的理想材料， 目前已在各种空间望远镜上得到广泛应用。
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Zerodur lenses 微晶镜片
Zerodur Ceramics Glass 零膨胀系数微晶玻璃
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