薄膜厚埋层 SOI材料的新制备技术3 关键词 : 薄膜厚埋层 SOI 材料; 注氧键合技术; 剖面透射电镜 [gap=8304]Key words : thin film/ thick BOX SOI; SIMOX wafer bonding technology; XTEM
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横截面透射电子显微镜（XTEM）是一个非常有用的技术，研究的界面扩散和反应，以及薄膜的晶粒生长。然而，XTEM样品制备的薄膜是乏味的，具有挑战性的。
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采用两种不同的工艺制备了改性SOI材料，即氧氮共注(SIMON)工艺、注氮改性工艺。利用截面透射电镜(XTEM)、二次离子质谱(SIMS)、X光电子能谱(XPS)及电子顺磁共振(EPR)等手段研究了SIMON和注氮改性工艺对材料结构及性能的影响。
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... 透射电子显微学 HXY 剖面电子显微学 XTEM 光学显微学 light microscopy ; opticalmicroscopy ...
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