x射线镜面反射（XRR）是一种无损伤深度分析，具极好的深 度分辨率，可以精确地测量平整光滑基底材料薄膜的厚度和多层膜的厚 度，其绝对误差可＜Inm，即...
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X射线反射（XRR）是式测定薄膜厚度和表面或界面粗糙度的最可靠的方法之一。与其他分析法相比，它具有非破坏性和无需特殊样品制备的优点。
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...COVER高分辨X射线衍射仪配有高精度尤拉环样品台、多层膜反射Goebel镜、双晶单色器以及三轴分析晶体等，可进行X射线全反射（XRR）得到极薄样品表面层结构信息，从而得到薄膜的表面粗糙度、厚度等信息。
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一般对于薄膜材料,XRD能够做: 掠入射(GIXRD): 分析晶态薄膜物相,残余应力 反射率测量(XRR): 对膜质量要求较高,晶态非晶皆可.一般分析纳米级别薄膜的厚度,深入一点可通过拟合的方法来分析密度,表面界面的粗糙度 掠入.
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