... write back cache: 回写式高速缓冲存储器 write beam: 记录射束 write buffer: 写入缓冲器 ...
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direct write electron beam system 直写式电子束光刻装置
direct write electron beam lithography 直写式电子束光刻
direct-write electron-beam 直接写入电子束
e-beam direct write 电子束直写
EBL Electron Beam Direct-Write Lithography 电子束直写光刻
Electron Beam Direct-Write Lithography 电子束直写光刻
electron beam direct-write exposure 电子束直写曝光
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In this paper, the principle of electron beam write wafer is discussed briefly distinguish topography mark, and make the technology of wafer mark which is found by the electron beam exposure system.
本文扼要介绍了电子束直写圆片的原理，地形标记的识别，以及电子束曝光系统能识别的圆片标记的制造技术。
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