本节介绍了高温厚铝溅射（al sputter）时柱状突起缺陷（whisker defect）的产生原因，针对影响柱状突起缺陷的各个因素，进行分析诊断，数据化各因素的影响程度，找出最大的影响因素，实现了一种在现有的...
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晶须突出缺陷
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Mechanism and solution of whisker defect.
3.发现了晶须突出缺陷的产生机理并获得了抑制方法。
参考来源 - 逻辑产品后段工艺改善
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