... wafer warpage 薄片弯曲 wafer yield 晶片成品率 wafer 薄片 ...
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而本论文对良率的概念也会作一些简要介绍,需要强调的是本论文所提到的良率是指晶圆良率（Wafer Yield）:就是在一片晶圆上,完成所有工艺步骤之后,测试完好芯片的数量与整片晶圆上的有效芯片的比值。
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Wafer Fab Yield 晶片产量
wafer sort yield 电测良品率
wafer r yield 晶片成品率
·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
In case of deviation of the measured average thickness from the specified average value, the Wafer Yield adjustment has to come into force.
万一出现，测量的平均厚度与技术要求的平均厚度出现偏差，晶片的成品率必须进行调整。
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