... wafer switch 晶片开关，晶质开关 wafer transformer 金属箔变压器 wage contract 工资契约 ...
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The local heights of wafer surface are measured by the linear variable differential transformer (LVDTs) when the different offsets between wafer and wafer chuck exist.
在晶圆与承片台存在不同偏移量时，利用线性差分传感器在线测量晶圆上不同点的局部高度；
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