wafer stepper lithography 薄片的步进式光刻
optical wafer stepper 步进式晶片曝光机
wafer stepper projection system 薄片的步进式投影曝光装置
wafer r stepper lithography 薄片的步进式光刻
Wafer Stepper is one of the key equipments for large scale integration parts producing.
精缩机是集成IC器件制造的关键设备之一。
参考来源 - 基于C/S构架的分布重复精缩机控制系统研制The motion error chain for the wafer stepper is analyzed to develop a versatile error model.
进一步分析了光刻机的运动误差链,推导了光刻机运动通用误差模型。
参考来源 - 光刻机精密运动平台的几何及运动误差建模·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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