wafer stepper lithography 薄片的步进式光刻
optical wafer stepper 步进式晶片曝光机
wafer stepper projection system 薄片的步进式投影曝光装置
wafer r stepper lithography 薄片的步进式光刻
Wafer Stepper is one of the key equipments for large scale integration parts producing.
精缩机是集成IC器件制造的关键设备之一。
参考来源 - 基于C/S构架的分布重复精缩机控制系统研制The motion error chain for the wafer stepper is analyzed to develop a versatile error model.
进一步分析了光刻机的运动误差链,推导了光刻机运动通用误差模型。
参考来源 - 光刻机精密运动平台的几何及运动误差建模·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
It utilizes optical phase shifting mask to improve resolution limit for an existing wafer stepper.
它应用了光学相移掩模方法，大大提高了现有光学光刻设备的分辨率水平。
It provides more convenient research means for understand the physical essence of diffraction between mask and wafer of proximity deep stepper.
对深入理解和认识接近式深度光刻机的掩模-硅片间衍射的物理本质提供了更为方便的研究手段。
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