9,化学气体:纯度,水汽含量,微粒,金属离子; 氧气钝化(OP),晶圆舟(wafer boat) 10,设备:机械设备是最大的微粒污染源;每片晶圆每次通过设备后增加的颗粒个数(ppp),
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wafer boat
晶片的船
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