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... voltage component 电压分量 voltage contrast 电压对比度 voltage control 电压控制 ...
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由于检测电流可高达1.2nA，配合以特殊的电压差异(voltage contrast)电子扫描方式可对所有的电性缺陷进行再检测，如Contact／Via填充后形成的未接触(floating)和空洞(voids)等缺陷(图2)。
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