摘要:超低压化学气相沉积(VLPCVD)设备是目前制备微电子器件材料的重要设备,在它的核心部分--反应室中,由于各种气体处于复杂的过渡流区域,所以它们之间的动力学过程...
基于12个网页-相关网页
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动