... 电子束掺杂的应用——高浓度浅结的形成 一、引 言 无论在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)、超高速集成电路(VHSIC)的研究中,或是在计时电子学和生物电子学作微功率应用中,都离不开高浓度浅结的课题,国内外的学者始终役有停顿过对它的研究。
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