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...合作，开发了3个光束线的模拟和优化软件. 用于同步辐射和软X-光波段的离子束刻蚀全息Lamella原刻光栅 用于真空紫外波段的离子束刻蚀全息原刻光栅 用于极紫外波段的变刻槽深度（VGD）原刻光栅 用于真空紫外和极紫外波段的高质量反射镜...
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