The research on vacuum micro-tool is advance task in the MEMS field.
微夹研究是微机械电子学系统（MEMS）领域的一个前沿课题。
This paper describes principle of vacuum micro electron tactiles sensor.
阐述了真空微电子触觉传感器的工作原理。
The design of overload protection is put forward in the vacuum micro electronic pressure senor.
提出和完成了自保护功能的真空微电子压力传感器的结构设计。
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