vacuum micro-tool 真空微夹
vacuum micro wave 真空微波
vacuum micro tool 真空吸附
vacuum micro-dosing 真空微量滴灌机
vacuum micro-triode 真空微电子三极管
vacuum micro triode 真空微三极管
vacuum micro chamber 真空微腔
vacuum micro-tweezers 真空微镊子
vacuum micro mass balance 真空微量天平
The research on vacuum micro-tool is advance task in the MEMS field.
微夹研究是微机械电子学系统（MEMS）领域的一个前沿课题。
This paper describes principle of vacuum micro electron tactiles sensor.
阐述了真空微电子触觉传感器的工作原理。
The design of overload protection is put forward in the vacuum micro electronic pressure senor.
提出和完成了自保护功能的真空微电子压力传感器的结构设计。
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