真空电子器件(vacuum electronic device)指借助电子在真空或者气体中电磁场发生相互作用，将一种形式电磁能量转换为另一种形式电磁能量的器件。
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micro-vacuum electronic device 微真空电子器件
material for vacuum electronic device 真空电子器件材料
technique for vacuum electronic device 真空电子器件工艺
electronic vacuum device 电真空组件
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