目 前在5 代以上的机台，于软烤前与光阻涂布后皆会加上一道真空干燥(Vacuum Dry) 的制程，为的就是改善此一现象。至于在光阻的部分可以借由调整树脂的分子量与 一些介面活性剂来达到这一目的。
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Vacuum Dry Box Series 真空干燥箱
Vacuum dry oven 真空烘箱
vacuum dry kiln [木] 真空干燥窑
dry vacuum pump 干式真空泵 ; 式真空泵 ; 干式抽气机 ; 干式真空泵浦
Vacuum Dry System 全自动真空干燥系统
vacuum dry plants 真空干燥装置
vacuum dry and VPI 真空干燥与浸渍
rotary dry vacuum pump 旋转式真空干燥泵 ; 旋转真空干燥泵 ; 干吸回转真空泵 ; 旋转干燥真空泵
Add in a vacuum drying oven and then dry.
然后放入真空干燥箱中，干燥。
Provides the theoretical data for the vacuum degassing purification and vacuum dry of liquid medium.
为液体介质的真空脱气净化和真空干燥提供了理论数据。
Introduce the four stages of voltage transformation vacuum dry method and its technical performance.
介绍变压法真空干燥四个阶段、技术特点。
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