超声波化学气相沉积(Ultrasonic Wavechemical Vapor Deposition)
综述了利用超声波作化学气相沉积过程中能源的一种新工艺,即超声波化学气相沉积(UWCVD)。该工艺与其它 CVD方法相比有以下特点:沉积膜与基体有更好的结合;沉积膜有更优的强韧性和 .
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...体增强化学气相沉积（PECVD）、低压化学气相沉积（LPCVD）、金属有机化合 物化学气相沉积（MOCVD）、超声波化学气相沉积（UWCVD）、超真空化学气相沉积 （UHVCVD）等。
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