...主要供应用半导体生产的化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、电化沉积（ECD）、化学机械研磨（CMP）、紫外热处理（UVTP）和表面处理设备。
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【正文快照】： 紫外线辅助热处理(UVTP)作为一种较新的工艺技术,可降低薄膜的生成温度和薄膜的生产成本。
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奚明说,在去年,人们研究和尝试采用紫外光热处理(uv thermal processing, uvtp)和电子束工艺方法提高机械强度,而电子束由于对底层材料可能带来的损伤日益被淘汰出局。
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