LCVD和PECVD制备薄膜比较 (4) CVD的新技术 • 超声波化学气相沉积(UWC-WD) • 超声波化学气相沉积(UVCVD)是利用超声波作为 CVD过程中能源的一种新工艺。 • 按照超声波的传递方式，UWCVD可分为两类：超 声波辐射式和CVD基体直接振动式。
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